低温等离子废气处理设备是利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用，净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能、的特点，使废气物质分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解废气的目的。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子废气处理设备控制系统是PLC控制器、文本显示器、频率变换调速机、点火器、紫外线传感器、热电偶等电气控制设备以及鼓风机，另外通过零压力阀调节气体和空气的比率。等离子光氧复合机的选型计算主要包括类型和筒体直径及个数的确定等内容。一般步骤和方法如下：
1）根据所需处体的含尘质量浓度、粉尘性质及使用条件等初步选择低温等离子废气处理设备类型。
2）选型时按给定条件计算低温等离子废气处理设备的分离界限粒径和预期达到的除尘效率，也可直接按有关低温等离子废气处理设备性能表选取，或将性能数据与计算结果进行核对。
3）低温等离子废气处理设备合理设计了连接风道,使各低温等离子废气处理设备处理的气体量相等,避免了低温等离子废气处理设备之间的串扰现象,降低了效率。去除流量的路径是为每个等离子光氧集成器安装一个单独的集尘器。
4）低温等离子废气处理设备的直径是根据待处理的尘气Q来计算的，或者根据所需的处量(一般在12~25m/s之间)计算低温等离子废气处理设备的气流速度。根据所选择的粉尘气体入口速度和待处理粉尘气体的数量，计算了低温等离子废气处理设备的进气截面。
5）低温等离子废气处理设备需要处理的气体量。当气体温度较高、含尘量较大时，其风量和密度发生较大变化，需要进行换算。若气体中水蒸气含量较大时，亦应考虑水蒸气的影响。
6）等离子光氧整体机采用气密性好的放电方式，防止装置下部漏风，防止效率急剧下降。集尘箱和空心隔离锥设置在等离子光氧集成机的底部(D是等离子光氧集成机的气缸直径)，可以减少空气泄漏和涡流引起的二次粉尘，提效率。
低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
